壓力傳感器*外應用現狀概述：

    從*範（fàn）圍看壓力（lì）傳感器的發展動（dòng）向主要有以下幾（jǐ）個方向（xiàng）。

    2. 1 光纖壓力傳感器

    這是*類研究成（chéng）果較多的傳感器（qì）,但投入實際領域的並不是（shì）太多。它的工作原理是利用敏感元件受壓力作用時的（de）形變與反射光強度相關的特性,由（yóu）矽框（kuàng）和金鉻薄膜組成（chéng）的膜片結構中間夾了（le）*個矽光纖擋（dǎng）板,在（zài）有壓力的情況下,光（guāng）線（xiàn）通過擋板的過程中會發生強度的改變,通（tōng）過檢測這個微小的（de）改變量,我們就能測得（dé）壓力的大小。這種敏感元件已被應用與臨床醫學,用來測擴張冠狀動脈導管氣球內的（de）壓（yā）力。可預見這種壓力傳感器在顯微外科方麵*定會（huì）有良好的發展前景。同時,在加工與健康方麵,光纖傳感器也在快速發展。

    2. 2 電容式（shì）真空壓力傳感（gǎn）器

    E + H*的電容式壓力傳感器是由*塊基片和厚度為0. 8～2. 8mm的氧化（huà）鋁(Al2O3) 構成,其間用（yòng）*個自熔焊接圓環釺焊在*起。該環具有隔離作用,不需要溫度補償,可以保持長期測量的可靠性和持久的*度。測量方（fāng）法采用電容（róng）原理,基片上*電容CP 位於位移（yí）zui大的膜片的*,而另*參考電容CR 位於膜片的邊緣,由於邊（biān）緣很難產生位移（yí）,電容（róng）值不發（fā）生變（biàn）化,CP 的變化則與施加的壓力變化有關,膜片的位移和壓力之間的關係是（shì）線性的。遇到過載時,膜片貼在基（jī）片上不會被破壞,無負載時會立刻返回原位無任何滯後,過（guò）載量可以達（dá）到100 %,即使是（shì）破壞也不（bú）會泄漏任何汙染介質。因此具有廣泛的應（yīng）用前（qián）景。

    2. 3 耐*溫壓力（lì）傳感器（qì）

    新型半導體（tǐ）材料碳化矽(SiC) 的出現使得單晶體的*溫傳（chuán）感器（qì）的製作成為可（kě）能（néng）。Rober. S. Okojie報導了*種運行試驗達（dá）500 ℃的α(6H) SiC 壓力傳感器. 實驗結果表明,在（zài）輸入電壓為5V ,被測壓力為6. 9MPa 的條件下,23500 ℃時的滿量程輸（shū）出為44. 66～20. 03mV ,滿量程線度為20. 17 % ,遲滯為0. 17 %。在500 ℃條（tiáo）件下運行10h ,性能基本不變,    在100 ℃和500 ℃兩點的應變溫度係數( TCGF) , 分別為20. 19 %/ ℃和（hé）- 0. 11 %/ ℃。這種傳感器的主要優點是PN 結泄漏電流很（hěn）小,沒有熱匹配問題以及升溫不產生（shēng）塑性變型,可以（yǐ）批量加工（gōng）。Ziermann ,Rene 報導了使用單晶體n 型β- SiC 材料製成的壓力傳感器,這（zhè）種壓力傳感器工作溫度可達573K,耐輻射。在室溫（wēn）下（xià）,此壓力傳感器的靈敏（mǐn）度為20. 2muV/ VKPa。

2. 4 矽微（wēi）機（jī）械加工傳感器

    在微機械加工技術逐漸完（wán）善的今（jīn）天,矽微（wēi）機械傳感器在汽車工業中的應用越來（lái）越多（duō）。而隨著微機械（xiè）傳感器的體積越來越小,線度可以達到1～2mm ,可以放置（zhì）在人體的重要器官中進行（háng）數據的采集。Hachol ,Andrzej ;dziuban ,Jan Bochenek 報導了*種可以用於測量眼球的眼（yǎn）壓計,其膜片直徑為1mm。在內眼壓為60mmHg 時,靜態輸出為40mV ,靈敏度係數比（bǐ）較*。

    2. 5 具有自測試功能的壓（yā）力傳感器

    為了降低（dī）調試與運行成本,Dirk De Bruyker 等人報導了*種具有自測試功能的壓阻（zǔ）、電（diàn）容雙元件傳感器,它的自（zì）測（cè）試功能是根據熱驅動原理進行的,該傳感器尺寸為1. 2mm ×3mm ×0. 5mm ,適用於生物醫學領域。

    2. 6 多維力傳感器

六維力傳感器的研（yán）究和應用是多維力傳感器研究的熱點（diǎn）,現在*上隻（zhī）有美、日等少數*可以生產（chǎn）。在我國北京理工大（dà）學在（zài）跟蹤國外發展的基礎上,又開創性的研製出組合有壓電層的柔軟光學陣列觸覺,陣列（liè）密度為（wéi）2438tactels/ cm2 ,力靈（líng）敏1g ,結構柔性很（hěn）好,能（néng）抓握和識別雞蛋（dàn）和鋼球,現已用於機器人分選（xuǎn）物品。